����ǰ��λ�ã���ҳ > �������� > ��������

��������¢�� ����ArF��̽�ȡ���ش�ͻ�ƣ�������7nm����

ʱ�䣺2020-05-23 17:52:44  

������Ϊ�뵼�忨���ӵļ���֮һ���ܶ���ֻ֪����̻���ȴ��֪����̽�����Ҫ�ԣ�����г�Ҳ�DZ��ձ���������˾¢�ϣ�TOP5����ռ��ȫ��85%�ķݶ

����������̽���ǰֻ�����ڵͶ˹����������У�������G�ߣ�436nm����I�ߣ�365nm��ˮƽ��Ŀǰ��Ҫ���õ�ArF��̽����ǿ����ڣ�EUV��̽�Ŀǰ��û�й�˾�������������϶��������ձ���˾���С�

��������EUV��̽�Ҳ���Ǽ���ģ���Ϊ����Ŀǰ��û��EUV����������193nm��ArF��̽�������Ҫ��Ŀǰ�����ж�ҹ�˾���ڹ����У����ֹ�̽���������28nm��7nm���յ��Ƚ����ա�

�������죬�ϴ����ڻ���ƽ̨��ʾ����˾��ArF��̽����ڰ��ƻ����пͻ����ԣ�����ζ�Ź��ڵ�ArF��̽�����ȡ������Ҫͻ�ƣ����з���ʼ����������

���������ϴ��繫˾֮ǰ����Ϣ����˾��2017�꿪ʼ�з�“193nm��̽���Ŀ”���ѻ�ù���“02ר��”�������Ŀ�����˾�ƻ�ͨ��3��Ľ��衢Ͷ����ʵ�����ۣ��ﵽ���25��193nm��ArF��ʽ�ͽ�ûʽ����̽���Ʒ��������ģ����Ʒ�����㼯�ɵ�·��ҵ�����׼��

500
����һ��
������ҳ
������ҳ
�������� ����������
�û���: ����:
��֤��: ��������
�Ƽ���Ѷ
��կ���Ź�˾��ƶ��ο�ʻ
��կ���Ź�˾��ƶ��ο
Ҧ����չ�ذ��������˻
Ҧ����չ�ذ�������
����ϲ���ǹ�����й���
����ϲ���ǹ�����й�
�ͷ����磺�ٿ�2016����֯����������ѵ��
�ͷ����磺�ٿ�2016��
�������
    �������Ϣ
��Ŀ����
��Ŀ����